[发明专利]磁控管装置有效
| 申请号： | 200910091688.8 | 申请日： | 2009-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101994092A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 杨柏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J25/50;H01J23/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明;王宝筠 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种磁控管装置，设置于靶材的一侧，所述靶材包括外环区域和位于外环区域内的中心区域，所述磁控管装置包括：外环区磁控管，位于所述外环区域；中心区磁控管，位于所述中心区域；旋转机构，分别与所述外环区磁控管和中心区磁控管连接；所述旋转机构带动所述外环区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动，并带动所述中心区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动或小行星轨迹旋转运动。外环区磁控管的运动轨迹覆盖靶材的外环区域，与此同时，中心区磁控管的运动轨迹覆盖靶材的中心区域，使磁场中与靶材表面平行或近似平行磁力线充分扫过靶材的整个面积，不仅充分利用靶材中心部分的材料，而且有利于提高设备的使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控管装置，设置于靶材的一侧，所述靶材包括外环区域和位于外环区域内的中心区域，其特征在于，所述磁控管装置包括：外环区磁控管，位于所述外环区域；中心区磁控管，位于所述中心区域；旋转机构，分别与所述外环区磁控管和中心区磁控管连接；其中，所述旋转机构带动所述外环区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动，并带动所述中心区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动或小行星轨迹旋转运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910091688.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：挠曲印刷式天线
- 下一篇：侧链型电活性聚芳醚聚合物及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
