[发明专利]接触力测量基板及接触力测量方法有效
| 申请号： | 200910092941.1 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN102023065A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李丽;彭志龙;王威 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种接触力测量基板及接触力测量方法，包括：压电晶体和基板；所述压电晶体设置在基板的表面；所述压电晶体的一端为检测电压输入端，另一端为检测电压输出端。本发明提供的接触力测量基板及接触力测量方法可以用于测量与传送设备或清洗设备接触时的接触力，进而能准确控制传送设备或清洗设备对基板产生的接触力，减小或消除传送设备或清洗设备对基板的特性产生的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 测量 测量方法 | ||
【主权项】：
一种接触力测量基板，其特征在于包括：压电晶体和基板；所述压电晶体设置在所述基板的表面；所述压电晶体的一端为检测电压输入端，另一端为检测电压输出端。
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