[发明专利]阵列3环多值位相环匀光器及其制作方法无效
| 申请号： | 200910093294.6 | 申请日： | 2009-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102023390A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 贾佳;谢长青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B5/18;G02B27/42;G03F7/20;G03F7/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列3环多值位相环匀光器，该阵列3环多值位相环匀光器是一种在透明介质上，根据实际需要制造的3环多值位相环的阵列，阵列的大小由实际需要给出。所谓3环多值位相环是该种阵列型匀光器的基本单元。3环多值位相环是在透明的基片上，制造的一个同心3环结构的位相片。最外环半径由实际光路给出，内1环半径为外环半径的0.36，内2环半径为外环的0.09，内圆环位相为0，外圆环的位相为0.86π，中间环位相为0.06π。其余的部分不透光。所谓阵列就是重复这个3环多值位相环的结构。本发明同时公开了一种制作阵列3环多值位相环匀光器的方法。利用本发明，实现了对高斯光束和其它不均匀非平面波前光束的波前平顶化，实现接近平面的波前光束。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 环多值 位相 环匀光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种阵列3环多值位相环匀光器，其特征在于，该3环多值位相环匀光器是一种在透明介质上制造的3环多值位相环的阵列，阵列的大小由实际需要给出，阵列的大小选择要能够使得入射的光束完全被阵列所容纳，3环多值位相环是阵列的基本单元。
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