[发明专利]取向质检方法及装置无效
| 申请号： | 200910093829.X | 申请日： | 2009-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN102023398A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 金镇满 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种取向质检方法及装置，该装置包括：固定架，用于固定形成有取向膜的待测基板；光源，位于所述固定架下方；第一偏光板，位于所述光源及固定架之间；相位延迟元件，位于固定架的上方；第二偏光板，位于所述相位延迟元件的上方；摄像装置，位于所述第二偏光板的上方。本发明取向质检方法及装置，通过偏光板及相位延迟元件，代替了现有的水蒸气喷射法，能够方便、快速且准确地判断摩擦工艺的不良。 | ||
| 搜索关键词： | 取向 质检 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种取向质检装置，其特征在于，包括：固定架，用于固定形成有取向膜的待测基板；光源，位于所述固定架下方；第一偏光板，位于所述光源及固定架之间；相位延迟元件，位于固定架的上方；第二偏光板，位于所述相位延迟元件的上方；摄像装置，位于所述第二偏光板的上方。
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