[发明专利]一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法无效
申请号: | 200910095528.0 | 申请日: | 2009-01-19 |
公开(公告)号: | CN101498055A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 郜勇军;方建和 | 申请(专利权)人: | 郜勇军 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;B28D5/00;B24B7/22;B24B9/06 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人: | 舒 良 |
地址: | 324300浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法,该方法是将太阳能级单晶硅棒置于氢氟酸配比浓度较低的酸液中浸泡,除去损伤层,消除棒的应力后,再用抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光。采用本发明,由于对酸的浓度及纯度要求不高,因此可以使用一些废酸液生产,提高了利用率,降低了成本;同时,腐蚀时间不需要精确把握,不会出现蚀坑现象,提高了成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳 能级 单晶硅 抛光 处理 方法 | ||
【主权项】:
1、一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法,其特征在于将太阳能级单晶硅棒置于氢氟酸配比浓度较低的酸液中浸泡,除去损伤层,消除棒的应力后,再用抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光。
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