[发明专利]一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器

摘要

本发明公开了一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器，在硅衬底的正面自下而上依次生长ZnO薄膜、ZnO纳米棒阵列、SiO₂薄膜和半透明电极，在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明还公开了该电抽运随机激光器的制备方法：用磁控溅射法在清洗后的n型硅片上生长ZnO薄膜；采用化学水浴沉积法在ZnO薄膜上生长ZnO纳米棒阵列并在空气气氛下进行热处理；用溶胶-凝胶法在ZnO纳米棒阵列上生长SiO₂薄膜；在SiO₂薄膜上溅射半透明电极，在硅衬底背面溅射欧姆接触电极。本发明的硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器结构简单，在足够的正向偏压(Si接负极)下可以获得来自于ZnO纳米棒阵列的紫外电抽运随机激光。

主权项

1.一种硅基氧化锌纳米棒阵列电抽运随机激光器，其特征在于：在硅衬底(1)的正面自下而上依次生长有ZnO薄膜(2)、ZnO纳米棒阵列(3)、SiO2薄膜(4)和半透明电极(5)，在硅衬底背面沉积有欧姆接触电极(6)。