[发明专利]一种功率器件的散热结构及其制造方法有效
| 申请号： | 200910100292.5 | 申请日： | 2009-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101599471A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘勇;梁利华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473;H01L23/367;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人： | 王 兵;王利强 |
| 地址： | 310032*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种功率器件的散热结构，所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层，所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上，金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道，微型沟道设置有冷却液的进口和出口，金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。以及提供了功率器件的散热结构的制造方法。本发明同时满足微型化和噪音小、且散热效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 散热 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种功率器件的散热结构，其特征在于：所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层，所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上，金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道，微型沟道设置有冷却液的进口和出口，金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910100292.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于调用数据的服务参数关系匹配方法及系统
- 下一篇：沟槽的形成方法
