[发明专利]晶硅方坯磨削加工专用磨床

摘要

晶硅方坯磨削加工专用磨床，包括底座，底座上设有导轨、工作台，第一侧面磨削动力头和第二侧面磨削动力头，第一倒角机构和第二倒角机构，搬运机械手和翻转台。本发明具有无需多次装夹，生产效率高，加工精度高，次品率低的优点。

主权项

1、晶硅方坯磨削加工专用磨床，其特征在于：包括底座，所述的底座上设有：导轨和安放晶硅方坯的工作台，所述的工作台可滑动地安装在所述的导轨上，所述的工作台与固定在底座上的工作电机连动；对称地设置在导轨两侧、对晶硅方坯两侧面进行磨削的第一侧面磨削动力头和第二侧面磨削动力头；对称地设置在导轨两侧、对晶硅方坯的四个棱角进行倒角的第一倒角机构和第二倒角机构，所述的倒角机构包括倒角支架，所述的倒角支架上下对称地装有对晶硅方坯倒角的上倒角磨削动力头和下倒角磨削动力头，所述的倒角磨削动力头的安装面与水平面成45°夹角；所述的底座上设有将晶硅方坯从所述的工作台装卸的搬运机械手和位于导轨一侧、将卸下的晶硅方坯翻转90°的翻转台；所述的搬运机械手包括搬运支架，所述的搬运支架上设有搬运电机和与所述的电机连动的叉形搬运爪；所述的工作台上设有允许所述的搬运爪插入、以便装卸晶硅方坯的凹槽；所述的翻转台包括前后对称、可滑动地设置于所述的搬运爪两侧的前翻转机构和后翻转机构；所述的翻转机构包括正对所述的晶硅方坯侧面的夹持爪，所述的夹持爪与一可90°回转的摆动气缸连动。