[发明专利]浮法在线生产透明导电膜玻璃的方法

摘要

本发明涉及浮法在线生产透明导电膜玻璃的方法，具体地说是在热的玻璃表面利用化学气相沉积法，在玻璃带的运行过程中，分别在锡槽内沉积氧化硅、氧化硼掺碳的离子屏蔽层，在退火窑A₀区内沉积氧化锡掺锑、氟、磷的导电膜层，形成“玻璃/两层屏蔽层/两层导电膜层”式的夹层式复合膜，用反应调节剂和雾度调节剂来调节导电膜层的表面电阻和雾度，实现浮法在线连续稳定生产大规格导电膜玻璃，满足不同领域导电玻璃的需要。

主权项

1.浮法在线生产透明导电膜玻璃的方法，其特征在于包括以下步骤：1)在浮法玻璃生产线锡槽中，于玻璃带上方安装镀屏蔽层的镀膜反应设备，将乙硼烷、硅烷、乙烯、二氧化碳，用惰性气体稀释至体积百分比浓度分别为：乙硼烷1～15％、硅烷10～30％，乙烯90～100％，二氧化碳70～100％。利用化学汽相沉积法，在温度为620～700℃的热玻璃表面分别沉积两层屏蔽层，其中，沉积第一层屏蔽层的前质体混合气体的体积比为乙硼烷∶硅烷∶乙烯∶二氧化碳＝0.0002～0.010∶1∶3.5～6.0∶3.5～6.0，沉积第二层屏蔽层的前质体混合气体的体积比为乙硼烷∶硅烷∶乙烯∶二氧化碳＝0.0006～0.020∶1∶3.5～6.0∶3.5～8.0；2)在浮法玻璃生产线退火窑A0镀膜区的550℃～610℃温度区内，利用两台线性的多进多排的浮法玻璃在线镀膜装置，在镀有上述两层屏蔽层的玻璃带上表面沉积两层导电膜层，导电膜前质体混合气体各成分的摩尔百分数分别为：锡源0.2～3.5％、掺杂剂0.2～3.0％、反应调节剂0.25～3.0％、雾度调节剂0.5～13％、载气2～8％、其余为稀释气体。