[发明专利]用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置

摘要

本发明公开了一种用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置。所述装置是安放在投影透镜组和硅片之间的装置，由注液回收构件和随动盘片组成，用于约束浸没液体流场边界。当液体由于硅片高速运动对随动盘片产生冲击时，随动盘片会顺着运动方向产生一定的偏移，从而缓减流场边界压力，并增多回收口数量加速回收；反之，当硅片高速运动使得流场一侧压力减小时，该侧的柔性密封盘片也会顺着运动方向产生一定的偏移，进行压力补偿，并减少回收口数量减少同侧的液体回收量。通过自适应的调整回收孔与流场接触的数量可以实现液体的自适应回收，有效地提高了回收效率并减少了回收带来的振动和噪声。

主权项

1、一种用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置，包括在投影透镜组(1)和衬底(3)之间设置的液体柔性密封和自适应回收装置(2)；其特征在于：所述的液体柔性密封和自适应回收装置包括浸没单元上端盖(2E)、浸没单元腔体(2D)、浸没单元工作头(2C)和至少一片随动盘片组成；其中：1)浸没单元上端盖(2E)：开有提供注液腔(5A)、回收腔(6A)、第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)各自对外连接通道管路；2)浸没单元腔体(2D)：由中心孔向外依次开有互不连通的腔体，即分别开有阶梯形的注液腔(5A)、回收腔(6A)和相间分布的第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)，四个腔体分别垂直向上通过浸没单元上端盖(2E)的对应通道与外界供水供气系统连接；3)浸没单元工作头(2C)：提供浸没单元腔体(2D)中注液腔(5A)、回收腔(6A)和第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)四个腔体与衬底上表面工作空间的连接通道以及液体回收通道；由中心孔向外依次开有互不连通的孔阵列通道，分别是开有与注液腔(5A)个数相对应的注液孔阵列(5B)，环形的回收槽(10)，与回收腔(6A)面积相对应的上表面向内倾斜的回收孔阵列(6B)，与回收槽(10)相连通的由内通向浸没单元工作头(2C)外侧的回收通道(11)，相间分布的与第二注气压力缓冲腔(8A)相对应的第二注气孔阵列(8B)，与第一注气压力缓冲腔(7A)相对应的第一和第三注气孔阵列(7B、7C)，浸没单元工作头(2C)下表面径向开有滚动导轨安装槽(13)和与第一和第三注气孔阵列(7B、7C)相连通的垂直随动盘片外侧的环形导向槽(9)；第一，由在同一半径上均匀分布通孔组成注液孔阵列(5B)，孔垂直于浸没单元工作面，注液孔阵列(5B)上方与注液腔(5A)相通；第二，由在不同半径上均匀分布通孔组成回收孔阵列(6B)，孔垂直于浸没单元工作面，回收孔阵列(6B)的上端面从外向内倾斜并进行憎水处理，与注液腔6A相通；第三，液体回收槽(10)是分布在回收孔阵列内侧注液孔阵列外侧之间的环形连续槽，四周有回收通道(11)与回收槽(10)相连，回收槽(10)边缘低于回收孔阵列(6B)上端面的内侧边缘；第四，由在不同半径上均匀分布通孔组成第一、第三注气孔阵列(7B、7C)，孔的方向垂直于浸没单元工作面，注气孔阵列(8B)下表面与导向槽(9)相通，该导向槽(9)与浸没单元工作面呈45°角，注气孔阵列(7B、7C)上表面与第一注气压力缓冲腔(7A)相通；第五，由在不同半径上均匀分布通孔组成第二注气孔阵列(8B)，孔的方向垂直于浸没单元工作面，注气孔阵列(8B)下表面与导向槽(9)相通，该导向槽(9)与浸没单元工作面呈45°角，注气孔阵列(8B)上表面与第二注气压力缓冲腔(8A)相通；4)随动盘片：为环状片，上表面为平面，进行过憎水处理的下表面向外向下倾斜，外边缘向内弯曲，外边缘外侧与水平面呈135°，通过安装在滚动导轨安装槽(13)内的滚动导轨与浸没单元工作头(2C)相连。