[发明专利]溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 200910105959.0 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101497990A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 陈可明;陈海峰 | 申请（专利权）人： | 中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾旻辉;周正雄 |
| 地址： | 518047广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射镀膜装置，包括真空腔体，设置在真空腔体内的阳极和阴极靶材、镀膜产品和供气系统，供气系统包括进气口和将外部气源与进气口连同的供气通道，进气口在沿阴极靶材的长度方向上设有多段，与每个进气口连同的供气通道上设有气体流量控制器对各个进气口的工艺气体种类和流量进行单独控制。通过将供气系统中的进气口设置为多段，并分布设置在沿阴极靶材的长度方向，并在与每个进气口对应的供气通道上设置气体流量控制器，使得供气通道中的气体种类和流量可以得到控制，进而对真空腔体内阴极靶材附近的工艺气体进行局部的动态调整。在镀膜生产过程中，可通过及时调整各个气体流量控制器来调整工艺气体的分布状况，实现对膜厚的均匀性进行在线调整。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅射镀膜装置，包括真空腔体，设置在真空腔体内的阳极和阴极靶材、由外部传动机构驱动的镀膜产品、通过供气通道向真空腔体内导入工艺气体的供气系统，所述供气系统包括设置在腔体内的进气口和将外部气源与进气口连同的供气通道，其特征在于，所述进气口在沿阴极靶材的长度方向上设有多段，与每段进气口连同的供气通道上设有气体流量控制器对各个进气口的工艺气体种类和流量进行单独控制。
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