[发明专利]复合真空泵无效
| 申请号： | 200910106271.4 | 申请日： | 2009-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101852199A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 储继国 | 申请（专利权）人： | 储继国 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14;F04D19/04;F04C18/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属抽真空设备领域，提供一种复合真空泵，包括泵壳、以及开设于所述泵壳上的进气口及排气口，所述泵壳内设有若干级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵；所述牵引分子泵采用并联或者串联组合，置于靠近所述进气口处；所述罗茨泵采用串联组合，置于靠近所述排气口处；所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。本发明所提供的复合真空泵抽速大、极限真空高、能耗低、尺寸小、重量轻，还能获得清洁的中真空和高真空。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 真空泵 | ||
【主权项】：
一种复合真空泵，包括泵壳、开设于所述泵壳上的进气口及排气口，所述泵壳内设有多级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵，其特征在于：所述牵引分子泵采用并联或者串联组合，置于靠近所述进气口处；所述罗茨泵采用串联组合，置于靠近所述排气口处；所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。
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