[发明专利]一种平板显示材料的多功能镀膜生产线无效
申请号: | 200910107126.8 | 申请日: | 2009-04-24 |
公开(公告)号: | CN101871095A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 许生;谭晓华;庄炳河 | 申请(专利权)人: | 深圳市豪威薄膜技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 欧阳启明 |
地址: | 518067 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种平板显示材料的多功能镀膜生产线,其包括:上下片端、真空室、镀膜室以及组合式传动装置,所述真空室和镀膜室内包括两组相互独立的空间,每组独立空间内设置一单面镀膜生产线;所述组合式传动装置包括平移架和旋转架。本发明提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线采用组合式传动装置后,能够实现多种镀膜形式,节约了成本,提高了效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 平板 显示 材料 多功能 镀膜 生产线 | ||
【主权项】:
一种平板显示材料的多功能镀膜生产线,其特征在于包括:上下片端,其包括平移架和旋转架;连接上述上下片端的真空室,此真空室内包括两组相互独立的空间,每组独立空间内设置一单面镀膜生产线;连接上述真空室的组合式传动装置,此组合式传动装置包括平移架和旋转架。
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