[发明专利]用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法有效
| 申请号： | 200910110746.7 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101694542A | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 商陆平;朱泽力;李绍宗 | 申请（专利权）人： | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;H01L29/786;H01L23/528;H01L21/336;H01L21/768 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法。该薄膜晶体管包括基板、底部导电膜层、第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层、第四导电膜层及有机流平膜层；底部导电膜层设在基板上；第一绝缘膜层覆盖在底部导电膜层上方；半导体非晶硅膜层覆盖在第一绝缘膜层上；第二导电膜层部分覆盖在半导体非晶硅膜层上，第二层绝缘膜层覆盖在第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层的上方；有机流平膜层覆盖在第二绝缘层上；第四导电膜层覆盖在有机流平膜层上。与现有技术比较，其有益效果是：有机流平膜层的增加，提高反应速度；漏极和公共电极都通过导电膜层连接到同一平面，使反应速度加快；提高产品开口率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 润湿 显示装置 薄膜晶体管 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，包括：基板、底部导电膜层、第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层及第四导电膜层；底部导电膜层设在基板上，其作为栅极、栅极布线及公共电极的导电膜层；第一绝缘膜层，其覆盖在底部导电膜层的上方；所述的半导体非晶硅膜层覆盖在第一绝缘膜层上；所述的第二导电膜层作为源极和漏极的导电膜层，所述的第二导电膜层部分覆盖在所述的半导体非晶硅膜层上；所述的第二层绝缘膜层覆盖在所述的第一绝缘膜层、所述的半导体非晶硅膜层、所述的第二导电膜层的上方；所述的第四导电膜层作为像素电极和保持电极的导电膜层；其特征在于：还进一步包括有机流平膜层，所述的有机流平膜层覆盖在第二绝缘层上。
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