[发明专利]一种液相外延法制取薄膜的装置无效
| 申请号： | 200910111540.6 | 申请日： | 2009-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101760777A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 郑智雄;南毅;张伟娜;王致绪;邹予;马殿军;赵志跃;汪健;徐诗双;洪朝海;戴文伟 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 中国福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种液相外延法制取薄膜的装置，涉及一种外延生长设备。其包括：一阀室，阀室内装有一升降旋转轴；一炉室，位于阀室的下方；一坩埚，位于炉室内；一用来加热所述坩埚内原料的加热装置；其特征在于：还包括一石墨花篮，所述的石墨花篮位于炉体内，可在阀室内及炉室内上下运动，石墨花篮上端与升降旋转轴可拆卸连接。本发明可一次装入多片衬底片于花篮的上下夹板之间，可一次性生产多个外延片；花篮可随着升降旋转轴旋转，使衬底片周围各处溶液浓度均匀，消除了温度场不均匀带来的生长差异，生长出来的外延片厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 法制 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
一种液相外延法制取薄膜的装置，包括：一副室，副室上装有一升降旋转轴；一阀室，阀室内装有一升降旋转轴；一炉室，位于阀室的下方；一坩埚，位于炉室内；一用来加热所述坩埚内原料的加热装置；其特征在于：还包括一上端与升降旋转轴下端连接的石墨花篮，所述的石墨花篮位于炉体内，可在阀室内及炉室内上下运动。
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