[发明专利]一种减少多晶硅铸锭应力的方法无效
| 申请号： | 200910112123.3 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101660208A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 郑智雄;张伟娜;赵志跃;程香;汪健;南毅;林禹 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种减少多晶硅铸锭应力的方法。本发明是将多晶硅锭放置于超声振荡清洗机中，同时放入100℃的水，开加热器，使水保持沸腾状态，开启超声波清洗机，使其保持高频振荡状态，逐渐冷却后将硅锭取出。取出后，立即将硅锭去边皮后破成小方锭，空气中储存。采用本发明方法可大大减少多晶硅铸锭应力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 多晶 铸锭 应力 方法 | ||
【主权项】：
1、一种减少多晶硅铸锭应力的方法，将刚出炉的多晶硅锭放置于超声波清洗设备中，同时放入100℃的水，开加热器，使水保持沸腾状态，开启超声波清洗机，使其保持高频振荡状态，频率为20KHZ-200KHZ，振荡至少1h，然后控制水温，使其逐渐冷却至室温，最后将硅锭取出，去除边皮，破成小方锭，空气中保存。
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