[发明专利]一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法无效
| 申请号： | 200910112271.5 | 申请日： | 2009-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101985741A | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 曹永革;黄常刚;邓种华;王美丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;H01L51/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法。该法采用在真空状态下或往退火炉内充入一定量的惰性气体(如氮气、氩气等)、氢气或他们的混合气体对IZO透明导电膜进行退火处理，经退火处理后的IZO透明导电膜电阻率显著降低，而且退火后能保持IZO透明导电膜的高透过率。该法涉及的工艺条件为：气氛压强为10-4～105Pa，退火温度为80～600℃，退火时间为3秒～24小时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 掺杂 氧化锌 透明 导电 性能 方法 | ||
【主权项】：
一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：该方法采用在真空状态下或往退火炉内充入一定量的惰性气体、氢气或他们的混合气体对IZO透明导电膜进行退火处理。
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