[发明专利]电沉积层内应力的检量方法无效
申请号: | 200910115908.6 | 申请日: | 2009-07-28 |
公开(公告)号: | CN101625327A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 唐显仕;韩海斌;朱彧 | 申请(专利权)人: | 唐显仕 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01B11/02 |
代理公司: | 佛山市科顺专利事务所 | 代理人: | 熊强强 |
地址: | 528300广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电铸领域,具体地说是涉及电沉积层内应力的检量方法。它包括以下方法,先取阴阳极试片浸入透明电镀槽内,阴极试片试验前先在600-800℃下退火30-50分钟,以消除其残余应力,静压碾平,将单面绝缘,再测量阴极试片的弹性模量值E和厚度值t,并测量出浸入电镀液中的阴极试片长度L,阴极试片的绝缘面背对阳极试片,再将阴阳极试片接通电源,在透明电镀槽体外设有摄像头,计算出阴极试片底端的位移量Z′;测量电镀后的阴极试片厚度,计算出电沉积层厚度值,最后根据公式计算出电沉积层内应力S大小,S=(1/6)×(Et2Z′/dL2)。本发明采用计算机成像和测量技术对阴极试片底端的位移量进行准确的测量,从而实现对电沉积层内应力的定性和定量检量。 | ||
搜索关键词: | 沉积 内应力 方法 | ||
【主权项】:
1、一种电沉积层内应力的检量方法,其特征在于:a,取透明电镀槽,内装电镀液,把阳极试片浸入电镀槽内;b,取阴极试片,阴极试片试验前先在600-800℃下退火30-50分钟,以消除其残余应力,自然冷却后清洗、干燥,静压碾平,将单面绝缘,再测量阴极试片的弹性模量值E和阴极试片的厚度值t,用导电夹子将阴极试片顶端夹紧,阴极试片底端浸入电镀液中,并保证阴极试片与电镀液液面垂直,并测量出浸入电镀液中的阴极试片长度L,阴极试片的绝缘面背对阳极试片;c,将上述阳极试片和阴极试片接通电源,在透明电镀槽体外设有摄像头,摄像头拍摄阴极试片在电镀过程中弯曲全过程,并保存数据,通过计算机计算出阴极试片底端的位移量Z′;d,测量电镀后的阴极试片厚度,减去电镀前的阴极试片厚度,计算出电沉积层厚度值d;e,根据公式计算出电沉积层内应力S大小,S = 1 6 × Et 2 Z ′ dL 2 , ]]> 其中:S为电沉积层内应力(Pa),t为阴极试片厚度(mm),E为阴极试片的弹性模量(Pa),d为电沉积层厚度(mm),L为阴极试片浸入电镀液中的长度(mm),Z′为阴极试片底端的位移量(mm)。
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