[发明专利]三或四压电体并行推进的步进器及其扫描探针显微镜镜体

摘要

本发明三或四压电体并行推进的步进器及其扫描探针显微镜镜体涉及压电定位器，包括三个或四个压电体、基座、滑块，三或四个压电体以三角形或方形排布和伸缩方向平行的设置固定站立于基座上，设置与这三或四个压电体在伸缩方向上为滑动配合的滑块，在垂直于该方向上设置将各压电体的自由端与滑块相压的正压力，在这三或四个正压力对滑块产生的最大静摩擦力中，任一个小于其它两个或三个之和。滑块通过弹力和各压电体自由端相压。各压电体和基座可为整体设置，在所述步进器之外套一个固定于基座上的压电扫描管就构成小空间可工作的扫描探针显微镜镜体。本发明尺寸小、结构简单牢固、工作温区大、驱动力大，适于各种极端物理条件，接近理想步进器。

主权项

1、一种三压电体并行推进的步进器，包括三个压电体、基座、滑块，其特征是所述三个压电体以三角形排布和伸缩方向平行的设置固定站立于基座上，设置与三个压电体在伸缩方向上为滑动配合的滑块，在垂直于三个压电体伸缩方向上设置将三个压电体的自由端与滑块相压的正压力，在这三个正压力对滑块产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。