[发明专利]透明电极被覆基板的水分去除方法无效
| 申请号： | 200910118869.5 | 申请日： | 2009-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101526300A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 明承烨 | 申请（专利权）人： | 韩国铁钢株式会社 |
| 主分类号： | F26B7/00 | 分类号： | F26B7/00;F26B15/12;H01L21/00;F26B3/30;F26B5/04;F26B3/02 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 葛 强;邬 玥 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明的透明电极被覆基板的水分去除方法，包括：将透明电极被覆基板放入红外线炉的阶段；在上述红外线炉内对上述基板进行加热的阶段；将上述基板从上述红外线炉搬出的阶段；将上述基板装载在室内的阶段和降低室内的压力对上述基板进行热处理的阶段。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 电极 被覆 水分 去除 方法 | ||
【主权项】：
1、一种透明电极被覆基板的水分去除方法，包括：将透明电极被覆基板放入红外线炉的阶段；在上述红外线炉内对上述基板进行加热的阶段；将上述基板从上述红外线炉搬出的阶段；将上述基板装载在室内的阶段；和降低室内的压力对上述基板进行热处理的阶段。
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