[发明专利]晶片级IC的装配方法有效
申请号: | 200910119260.X | 申请日: | 2009-03-10 |
公开(公告)号: | CN101533792A | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
发明(设计)人: | 李建勋;赵智杰;李明机;郭祖宽 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/78;H01L23/48 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种晶片级IC的装配方法,包括:首先,提供带有多个第一柱的母器件晶片。所述多个第一柱用于电连接且根据实施例由铜制成。接着在多个第一柱上形成焊料。优选在晶片上预成型所述焊料,且所述焊料的位置对应于所述母器件晶片的多个第一柱。从而,通过将包括预成型的焊料的晶片放置在所述多个第一柱上,而使得所述焊料可以形成在或者粘附在所述多个第一柱上。将具有与所述多个第一柱对应得多个第二柱的多个裸片放置在所述母器件晶片上。接着,使所述焊料回流以接合所述多个第一柱和所述多个第二柱,并且切割所述母器件晶片。本发明能够明显地减少处理时间,从而降低工艺成本。 | ||
搜索关键词: | 晶片 ic 装配 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种集成电路的装配方法,包括如下步骤:提供带有多个第一柱的器件晶片;在所述多个第一柱上形成焊料;在所述器件晶片上放置多个裸片,其中所述多个裸片包括与所述多个第一柱对应的多个第二柱;使所述焊料回流以接合所述多个第一柱和所述多个第二柱;以及切割所述器件晶片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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