[发明专利]彩色滤光基板的重工方法有效
| 申请号： | 200910119347.7 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101846842A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 谢文仁 | 申请（专利权）人： | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孙长龙 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种彩色滤光基板重工的方法，其步骤至少包括：提供具有一导电层以及至少一附着物的一彩色滤光基板，其中附着物是设置于导电层上；接着，形成一保护层于彩色滤光基板上，并覆盖导电层以及附着物；最后，利用一干蚀刻步骤去除保护层以及附着物。其中，彩色滤光基板还包含至少一孔洞形成于上述的导电层，并穿透导电层。在本发明所提供的重工方法中，是利用保护层覆盖该孔洞，避免孔洞在后续蚀刻制程中受到等离子体击穿而产生下层色层及遮光层不良，以提高彩色滤光基板重工制程的回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 重工 方法 | ||
【主权项】：
一种彩色滤光基板重工的方法，其特征在于，包括：提供一彩色滤光基板，该彩色滤光基板具有一导电层以及至少一附着物，该附着物设置于该导电层上；形成一保护层于该彩色滤光基板上，并覆盖该导电层以及该附着物；以及利用一干蚀刻步骤去除该保护层以及该附着物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司，未经华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910119347.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：并行光刻直写系统
- 下一篇：对向扫瞄讯号发送系统及其方法
