[发明专利]高频电子元件无效
| 申请号： | 200910126558.3 | 申请日： | 2009-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101533937A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 日浦滋;山崎宏明;池桥民雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01P1/12 | 分类号： | H01P1/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 杨 谦;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明所要解决的技术问题是提供一种可实现具有高Q值的可变电容部且可减少电路损耗的高频电子元件。其解决方案是作为高频电子元件的高频MEMS(1)具有：硅基板(2)；在硅基板(2)上彼此交叉地形成的高频信号线(5)和接地线(4)；以及电介质膜(8)，其在高频信号线(5)和接地线(4)的梁(8)交叉的部分，形成在高频信号线(5)和接地线(4)的至少一方上，且构成可变电容部(13)，该可变电容部(13)为，高频信号线(5)和接地线(4)能够沿接触分离方向相对移位地被支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电子元件 | ||
【主权项】：
1、一种高频电子元件，其特征在于，包括：硅基板；在所述硅基板上彼此交叉地形成的高频信号线和接地线；以及电介质膜，其在所述高频信号线和所述接地线交叉的部分，形成在所述高频信号线和所述接地线的至少一方上，且该电介质膜构成可变电容部，所述电介质膜为，所述高频信号线和所述接地线能够沿接触分离方向相对移位地被支撑。
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