[发明专利]液晶显示装置有效
| 申请号： | 200910126641.0 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101526709A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 海东拓生;园田大介;新田秀和 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立显示器 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G09G3/36;H01L27/12;H01L21/84 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种液晶显示装置。通过湿法蚀刻来加工沟道截断环层，通过干法蚀刻来加工poly-Si层。在沟道截断环层形成侧面蚀刻，由此使poly-Si层的周边部从沟道截断环层露出，将该区域用于与n+Si层接触。通过该结构能够减少TFT的导通电阻，增加导通电流。由此，能够在用于液晶显示装置的底栅型TFT中，在poly-Si层之上形成沟道截断环层，使TFT的特性稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种液晶显示装置，该装置形成有：呈矩阵状形成有像素电极和薄膜晶体管的显示区域；和形成在上述显示区域的周边上的包含薄膜晶体管的驱动电路，其特征在于，上述薄膜晶体管的结构为：覆盖栅电极而形成有栅极绝缘膜，在上述栅极绝缘膜之上形成有poly-Si层，在上述poly-Si层的主面之上除了周边部而形成有沟道截断环层，n+Si层接触上述poly-Si层的主面的周边部，覆盖上述n+Si层而形成有源/漏电极。
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