[发明专利]静电电容膜片真空计和真空处理设备有效
| 申请号： | 200910126814.9 | 申请日： | 2009-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101539470A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 宫下治三 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 魏小薇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及静电电容膜片真空计和真空处理设备，在静电电容膜片真空计中，膜片(3)和与膜片(3)相对的检测电极(7)被设置于真空中。所述静电电容膜片真空计通过测量膜片(3)和检测电极(7)之间的静电电容的变化程度来测量压力。静电电容膜片真空计包括大气压力变化因素检测单元(14)和(15)，其检测作为使真空压力改变的外部因素的大气压力变化因素。真空的压力是通过减去由大气压力变化因素检测单元(14)和(15)检测的信息而测量的。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 膜片 真空计 真空 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容膜片真空计，包括：被设置为面向内部区域的膜片，所述内部区域的压力将要被测量；和被设置为与所述膜片相对的检测电极，所述真空计通过测量所述膜片和所述检测电极之间的静电电容的变化程度来测量所述内部区域的压力，所述真空计包括：温度测量单元，测量安装有所述静电电容膜片真空计的外部环境的温度；大气压力测量单元，测量安装有所述静电电容膜片真空计的外部环境的大气压力；运算单元，基于环境温度和环境大气压力，根据关于预先测量并且被存储在存储单元中的多个静电电容中的至少一个静电电容的信息，计算与安装有所述静电电容膜片真空计的外部环境相对应的静电电容；静电电容补偿单元，其将测量的静电电容与计算的静电电容相比较，并且基于比较结果来补偿测量的静电电容；以及输出特性补偿单元，其基于被预先测量并且存储在存储单元中的关于环境大气压力的输出特性来补偿所述特性，其中，所述静电电容补偿单元基于补偿后的静电电容来计算电压，并且所述输出特性补偿单元基于补偿后的输出特性，输出由所述静电电容补偿单元计算出的所述电压。
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