[发明专利]喷淋板的制造方法、喷淋板以及等离子体处理装置

摘要

本发明提供喷淋板的制造方法、喷淋板以及等离子体处理装置。该喷淋板的制造方法能够防止等离子体发生逆流，均匀稳定地供给等离子体激励用气体，使用时零件不会脱落。其中，形成具有沿气体流通方向连通的气孔的多孔质且为柱状的气体流通体(11)。利用不透气的材料形成以接触气体流通体(11)的侧面的方式进行覆盖的筒状的致密构件(12)。在致密构件(12)的空心部分嵌入气体流通体(11)从而形成多孔片体(13)，以第1温度进行烧成。在顶板(9)上形成凹部(10)，形成一端与凹部(10)连通、贯通顶板(9)的气体流路。在凹部(10)中嵌入多孔片体(13)，以与第1温度同等以下的温度进行一体烧成，形成喷淋板(3)。

主权项

1. 一种喷淋板的制造方法，用于在等离子体处理装置中向处理容器内导入等离子体处理所用的气体，其特征在于，该喷淋板的制造方法包括如下工序：用多孔质材料形成柱状的多孔质气体流通体的工序；用不透气的致密的材料形成筒状的致密构件的工序；片体形成工序，其用上述致密构件以接触上述多孔质气体流通体的侧面的方式覆盖该多孔质气体流通体的侧面，形成多孔片体；第1烧成工序，以第1温度烧成上述多孔片体；在作为上述喷淋板的主体的电介质板的、朝向等离子体的面上形成凹部的工序；形成自上述凹部的底面贯通上述电介质板的气体流路的工序；安装工序，其将上述多孔片体嵌入上述凹部，形成气体喷射口；第2烧成工序，其以与上述第1温度同等以下的温度一体烧成结束了上述安装工序的电介质板。