[发明专利]靶材结构的制作方法有效
| 申请号： | 200910127156.5 | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101537530A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;毛立鼎;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/24;C23G1/10;C25D7/00;C23G5/02;C25D3/38;C25D3/56;C21D9/50;C21D11/00;B23K1/00;B23K1/20;C23C14/34;B23K103/08;B2 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材结构的制作方法，其包括：提供靶材，所述靶材为钽或者钽合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成金属镀层；在所述金属镀层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材。与现有技术相比，本发明可以使得钽靶材与铜背板实现可靠结合，提升靶材结构的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钽或者钽合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成金属镀层；在所述金属镀层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材。
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