[发明专利]用于制造单晶硅片绒面的加热装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于制造单晶硅片绒面的加热装置和方法，所述加热装置包括电源端、开关和设置在处理水池中的数个加热管，所述加热装置还包括移相调压模块和温度控制器，所述移相调压模块通过所述开关与电源端相连，所述温度控制器上的温度传感器设置于所述处理水池中，用于检测所述处理水池中的水温，所述温度控制器将所述温度传感器测得的水温模拟值转变成水温数字值并计算所述水温数字值对应的电流值，输出所述电流值至所述移相调压模块，所述移相调压模块计算所述电流值对应的电压值并输出所述电压值大小的电压至每个加热管中。本发明还提出一种利用上述加热装置进行硅片绒面制造的方法。利用本发明的加热装置及制造方法，可以稳定控制水温，显著提高整个处理水池温度的均匀性，提高硅片表面制绒质量，并降低制绒时间及节省化学溶液的使用量。

主权项

一种用于制造单晶硅片绒面的加热装置，包括电源端、开关和设置在处理水池中的数个加热管，其特征在于，所述加热装置还包括移相调压模块和温度控制器，所述移相调压模块通过所述开关与电源端相连，所述温度控制器上的温度传感器设置于所述处理水池中，用于检测所述处理水池中的水温，所述温度控制器将所述温度传感器测得的水温模拟值转变成水温数字值并计算所述水温数字值对应的电流值，输出所述电流值至所述移相调压模块，所述移相调压模块计算所述电流值对应的电压值并输出所述电压值大小的电压至每个加热管中，以使所述加热管根据所述电压发热。