[发明专利]一种制备四氟化硅的方法有效
| 申请号： | 200910127244.5 | 申请日： | 2009-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101544374A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张月和;薛明;李青娟;蔡春立;王伟 | 申请（专利权）人： | 六九硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制备四氟化硅的方法，包括：a)将含NaAlF4原料粉末和Si源粉末混合；b)将步骤a)得到的混合物与硫酸加热至240℃～350℃反应得到四氟化硅。本发明以含NaAlF4粉末作为原料与Si源和硫酸在加热的条件下进行反应生成四氟化硅，与现有技术相比，不但可以避免使用大量的萤石作为原料生成四氟化硅，降低生产成本，而且可以有效利用在硅烷生产的过程中产生的副产物NaAlF4，并以高的转化率制备出四氟化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氟化 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制备四氟化硅的方法，包括：a)将含NaAlF4原料粉末和Si源粉末混合；b)将步骤a)得到的混合物与硫酸加热至240℃～350℃反应得到四氟化硅。
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