[发明专利]靶材组件的制作方法有效

专利信息
申请号: 200910127246.4 申请日: 2009-03-12
公开(公告)号: CN101543935A 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;欧阳琳;王学泽;刘庆 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: B23K20/00 分类号: B23K20/00;B23K20/24;B23K20/26;C23G5/02;C22C21/00;C22C21/02;C22C21/12;C21D9/50;C21D11/00;C23C14/34;B23K103/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李 丽
地址: 315400浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种靶材组件制作方法,其中靶材制作方法包括,提供焊接材料,所述焊接材料包括靶材坯料和背板;比较靶材坯料和背板的硬度,对硬度比较高的焊接材料进行机械加工,对靶材坯料进行清洗处理,对所述背板进行清洗处理;将所述靶材坯料采用模具固定,利用扩散焊接将靶材坯料与背板焊接形成靶材组件。本发明能够降低制备投入,制备靶材组件过程中铝或者铝合金等金属靶材坯料不会变形,制作的靶材组件长久耐用。
搜索关键词: 组件 制作方法
【主权项】:
1. 一种靶材组件的制作方法,其特征在于,包括:提供焊接材料,所述焊接材料包括靶材坯料和背板;比较靶材坯料和背板的硬度,对硬度比较高的焊接材料进行机械加工,对靶材坯料进行清洗处理,对所述背板进行清洗处理;将所述靶材坯料采用模具固定,利用扩散焊接将靶材坯料与背板焊接形成靶材组件。
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