[发明专利]图案形成材料和图案形成方法无效
| 申请号： | 200910128224.X | 申请日： | 2002-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101673051A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 岸村真治;远藤政孝;笹子胜;上田充;藤之谷刚彦 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有含以[化1]所表示的单元与以[化2]所表示的单元的基体树脂和酸产生剂的图案形成材料，(其中，R1和R3是相同或不同，是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是氢原子、烷基、脂环基、芳基、杂环、酯基或醚基，是不由酸而离去的原子或基团；R4是由酸而离去的保护基；m为0～5的整数；a和b满足0＜a＜1、0＜b＜1和0＜a+b≤1。) | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于，具有含以[化1]所表示的第1单元和以[化2]所表示的第2单元的基体树脂和酸产生剂，[化1]![]()
[化2]![]()
其中，R1和R3是相同或不同，是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是氢原子、烷基、脂环基、芳基、杂环、酯基或醚基，是不由酸而离去的原子或基团；R4是由酸而离去的保护基；m为0～5的整数；a和b满足0＜a＜1、0＜b＜1和0＜a+b≤1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910128224.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于电感应金属熔融炉的集成过程控制系统
- 下一篇：用于电子处置器的测试板匣槽
