[发明专利]用于溅射装置的固定环及溅射装置有效
申请号: | 200910128461.6 | 申请日: | 2009-03-19 |
公开(公告)号: | CN101545093A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 姚力军;周友平;汪涛;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李 丽 |
地址: | 315400浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于溅射装置的固定环,包括环体和位于环体的环形外侧面上的固定凸起,所述环体包括两端分别相连的第一半圆部分和第二半圆部分,其中第一半圆部分的外壁圆周为第一圆的一部分,第二半圆部分的外壁圆周为第二圆的一部分,在第二半圆部分上具有缺口,所述缺口将所述第二半圆部分断开,并且第一圆的直径小于第二圆的直径。从而,在将固定环安装在枪体上时,固定环和枪体之间的间隙可以满足绝缘的要求。 | ||
搜索关键词: | 用于 溅射 装置 固定 | ||
【主权项】:
1、一种用于溅射装置的固定环,其特征在于,包括环体和位于环体的环形外侧面上的固定凸起,所述环体包括两端分别相连的第一半圆部分和第二半圆部分,其中第一半圆部分的外壁圆周为第一圆的一部分,第二半圆部分的外壁圆周为第二圆的一部分,在第二半圆部分上具有缺口,所述缺口将所述第二半圆部分断开,并且第一圆的直径小于第二圆的直径。
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