[发明专利]双折射测定装置以及双折射测定方法

摘要

本发明提供一种双折射测定装置以及双折射测定方法，以在连续传送并制造薄片状薄膜的薄膜制造工序中，在线准确地计算厚度方向延迟量。第1偏振特性测定部沿薄膜法线方向进行偏振特性测定。轴/延迟量计算单元基于该测定结果，计算试样的取向轴方位。面内方位控制单元使第2偏振特性测定部进行方位旋转，以使得第2偏振特性测定部的斜向入射光与所计算出的取向轴方位平行。试样由传送辊进行传送，如果由第1偏振特性测定部进行测定的区域到达第2偏振特性测定部的测定位置，则第2偏振特性测定部开始进行测定。轴/延迟量计算单元基于第1偏振特性测定部和第2偏振特性测定部的测定结果，进行厚度方向延迟量的计算。

主权项

1.一种双折射测定装置，其特征在于，具有：第1测定单元，其将光垂直地入射至被测定试样，对所述被测定试样的正面延迟量进行测定；第2测定单元，其将光以规定的入射角入射至所述被测定试样，对所述被测定试样的斜向延迟量进行测定；方位变更单元，其使所述第1测定单元以及所述第2测定单元中的至少所述第2测定单元，在保持光的入射角和入射位置恒定的状态下变更所述光的入射方位；控制单元，其对所述方位变更单元进行控制，以使所述光的入射方位与所述被测定试样的超前相轴方位或者滞后相轴方位平行；以及根据所述正面延迟量和所述斜向延迟量而对所述被测定试样的厚度方向延迟量进行计算的单元。