[发明专利]在可重复使用的基板上制造探针卡的微机电探针有效
| 申请号： | 200910128922.X | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101644725A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 徐曾洋;林宝九 | 申请（专利权）人： | 稳银科技控股公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;B81B7/02;B81C1/00;H01L21/66;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省台北市松山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种可重复使用的基板上制造探针卡的微机电(micro-electro-mechanical system；MEMS)探针，是于一基板上制造一微机电探针，以供用于一探针卡。该探针具有一接合面，该接合面被附着至探针卡的一应用平台。该接合面是形成于一垂直于该基板的一表面的平面上。于该探针下面形成一底切(undercut)，用于将探针自基板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 重复使用 基板上 制造 探针 微机 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：在一基板上利用微机电工艺技术来制作一探针，该探针具有一接合面可以安装在一探针卡的一应用平台上，该接合面是形成在垂直于该基板的一表面的一平面上；以及在该探针下方形成一底切使得该探针可以自该基板上分离。
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