[发明专利]金属氧化物半导体晶体管结构有效
申请号: | 200910131089.4 | 申请日: | 2009-04-22 |
公开(公告)号: | CN101771078A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 李名镇;郑道;杨明宗 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/36 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 葛强;张一军 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种金属氧化物半导体晶体管结构,包括:栅极,覆盖半导体衬底的有效区域;漏极掺杂区,为第一导电型,与所述栅极的边缘之间具有一段距离;第一轻掺杂区,为所述第一导电型,位于所述栅极与所述漏极掺杂区之间;源极掺杂区,为所述第一导电型,位于第二导电型的第一离子阱中;以及第二轻掺杂区,为所述第一导电型,位于所述栅极与所述源极掺杂区之间。本发明MOS晶体管与标准CMOS程序兼容,不需要额外成本,可用于大量隔离,降低HCI效应,改进TDDB特性,并可工作于负偏压。 | ||
搜索关键词: | 金属 氧化物 半导体 晶体管 结构 | ||
【主权项】:
一种金属氧化物半导体晶体管结构,其特征在于,包括:栅极,覆盖半导体衬底的有效区域;漏极掺杂区,为第一导电型并与所述栅极的边缘之间具有一段距离;第一轻掺杂区,为所述第一导电型并位于所述栅极与所述漏极掺杂区之间;源极掺杂区,为所述第一导电型并位于第二导电型的第一离子阱中;以及第二轻掺杂区,为所述第一导电型并位于所述栅极与所述源极掺杂区之间。
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