[发明专利]用于激光照射系统的基于延迟器的去散斑器件有效
| 申请号： | 200910131359.1 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101592786A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 谭金龙;大卫·M.·西蒙;斯科特·迈克尔东尼 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B5/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利福尼亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于在激光照射系统中抑制散斑的方法和装置，其中使用去散斑器件，该去散斑器件包括为从激光照射系统中的相干激光器发射的光提供实质上半波延迟的奇数倍的光学延迟器，近半波光学延迟器具有实质上不变的延迟和在空间上变化的慢轴。在空间上变化的慢轴对光束强加相位掩模，该相位掩模对探测器上的分辨光斑提供光学亚分辨相位调制。近半波光学延迟器被机械或电子地启动，以在探测器的积分时间内改变亚分辨光学相位调制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 照射 系统 基于 延迟 去散斑 器件 | ||
【主权项】：
1.一种在激光照射系统中抑制散斑的方法，其包括：在光束中插入去散斑器件，所述光束包括从所述激光照射系统中的相干激光器发射的光，所述去散斑器件包括用于为从所述相干激光器发射的光提供实质上半波延迟的奇数倍的光学延迟器，所述光学延迟器具有实质上不变的延迟和在空间上变化的慢轴，所述在空间上变化的慢轴用于对所述光束强加相位掩模，所述相位掩模用于对探测器上的分辨光斑提供光学亚分辨相位调制；以及启动所述光学延迟器，使得所述光学亚分辨相位调制在所述探测器的积分时间内变化，并使得从一个被探测的分辨光斑到另一个被探测的分辨光斑的强度不均匀性减小。
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