[发明专利]多晶硅棒的制造方法有效
| 申请号： | 200910132968.9 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101565185A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 水野亨彦;黑谷伸一;祢津茂义;小黑晓二 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅棒的制造方法，其中，在制造硅棒时，使用从通过CZ法或FZ法培育而成的单晶硅锭切出的硅部件(单晶硅棒)作为芯线。具体而言，从切去单晶硅锭(10)的肩部(10s)和尾部(10t)而得到的主体部(10b)切出平板状硅(11)，进而，切割成长条形而得到硅棒(芯线)(12)。在结晶生长轴方位为<100>的情况下，晶体习性线(h1～h4)为四根，硅棒(芯线)(12)按照其面与晶体习性线形成特定范围的偏角θ的方式切出。根据本发明，能够提供以现有方法无法得到的低杂质污染(高纯度)的多晶硅棒及单晶化效率高的FZ用多晶硅棒。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅棒的制造方法，通过CVD法使硅析出到硅芯线上来制造多晶硅棒，其特征在于，使用从单晶硅锭切出的硅部件作为所述硅芯线。
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