[发明专利]蚀刻液调合装置及蚀刻液浓度测定装置

摘要

本发明提供在半导体制造工厂或平板显示器制造工厂的使用侧，能够将铝的蚀刻液的硝酸浓度、水分浓度、磷酸浓度及醋酸浓度恒定地调合的蚀刻液调合装置。其具备：检测用纯水稀释调合槽内的蚀刻液而形成的稀释液的电导率的电导率计或检测蚀刻液的硝酸浓度的吸光光度计；检测蚀刻液的水分浓度的吸光光度计；检测蚀刻液的磷酸浓度的吸光光度计或密度计；根据检测硝酸浓度的电导率计的电导率值、检测水分浓度的吸光光度计的吸光度值和检测磷酸浓度的吸光光度计的吸光度值或密度计的密度值，利用多成分运算法运算蚀刻液的成分浓度的成分浓度运算机构；将单一酸原液、混酸原液及纯水的至少一种向调合槽中补给的补给机构。

主权项

1.一种蚀刻液调合装置，其具备：调合铝膜用蚀刻液的调合槽；与所述调合槽连接的管路；向所述管路输送所述蚀刻液或所述蚀刻液的调合中使用的液体的泵，所述蚀刻液调合装置通过所述管路与蚀刻装置连接，其特征在于，所述蚀刻液调合装置具备：硝酸浓度检测、液体补给机构，其基于通过利用电导率计检测用纯水稀释所述调合槽内的蚀刻液而形成的稀释液的电导率而得到的所述蚀刻液的硝酸浓度、或通过利用吸光光度计检测所述蚀刻液的吸光度而得到的所述蚀刻液的硝酸浓度，向所述调合槽补给单一酸原液、混酸原液或纯水的至少一种；水分浓度检测、液体补给机构，其基于通过利用吸光光度计检测所述蚀刻液而得到的所述蚀刻液的水分浓度，向所述调合槽补给单一酸原液、混酸原液或纯水的至少一种；磷酸浓度检测、液体补给机构，其基于通过利用吸光光度计检测所述蚀刻液的吸光度而得到的所述蚀刻液的磷酸浓度或通过利用密度计检测所述蚀刻液的密度而得到的所述蚀刻液的磷酸浓度，向所述调合槽补给单一酸原液、混酸原液或纯水的至少一种。