[发明专利]光刻胶树脂、及利用其形成图案的方法和制造显示面板的方法有效
申请号: | 200910134442.4 | 申请日: | 2009-04-14 |
公开(公告)号: | CN101561632A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 朴廷敏;郑斗喜;李政洙;李羲国;吴世泰;姜德万;崔宰荣 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社;AZ电子材料(日本)株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/008;H01L21/336;H01L21/027;H01L21/84 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 吴贵明;张 英 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种光刻胶树脂组合物、用于形成图案的方法、以及使用该光刻胶树脂组合物制造显示面板的方法。该光刻胶树脂组合物包括碱溶性树脂、光刻胶化合物和溶剂,其中碱溶性树脂包括由上面化学式1表示的第一聚合物树脂,其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢,而R7、R8、R9、R10和R11中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢。 | ||
搜索关键词: | 光刻 树脂 利用 形成 图案 方法 制造 显示 面板 | ||
【主权项】:
1.一种光刻胶树脂组合物,包括碱溶性树脂、光刻胶化合物、和溶剂,其中,所述碱溶性树脂包括由以下的化学式1表示的第一聚合物树脂,化学式1其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6中的至少一个是羟基,至少两个是甲基,其余的任意基团是氢,而R7、R8、R9、R10和R11中的至少一个是羟基,至少两个是甲基,其余的任意基团是氢。
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