[发明专利]多芯片测试探针装置

摘要

一种多芯片测试探针装置，设有一探针座，该探针座具有至少一间隔固定部将该探针座中分割为数个分割区，相邻的分割区对应于待测集成电路园片上相邻的芯片分布；多数个第一探针环设该探针座周围并延伸至相邻分割区之间，多数个第二探针自该探针座外通过该探针座周围与该间隔固定部相邻之处延伸至该间隔固定部上以朝相邻二该分割区之间弯折有预定的角度，使该些第二探针的针尖及力臂悬设于相邻二该分割区之间以相对并列分布。

主权项

一种多芯片测试探针装置，用以对呈数组分布的多数个相邻集成电路组件进行电性测试，包括有：一探针座，具有一周边固定部及至少一间隔固定部，该周边固定部环绕该间隔固定部，该周边固定部与该至少一间隔固定部之间形成有数个分割区，相邻各该分割区与上述相邻的集成电路组件相对应分布；以及，多数个第一及第二探针，各该第一及第二探针具有一针尖、一连接部及一针尾，该连接部位于该针尖及针尾之间且固定于该探针座，使该连接部与针尖之间形成一力臂以悬设于该探针座；该第一探针的连接部设于该周边固定部，该第二探针的连接部设于该间隔固定部，该第二探针的针尖位于相邻二该分割区之间，该第二探针的连接部以至针尾自该间隔固定部朝邻近该周边固定部方向弯折以延伸通过该周边固定部至该探针座外围。