[发明专利]电子元器件安装装置及电子元器件安装方法有效
申请号: | 200910137171.8 | 申请日: | 2009-05-06 |
公开(公告)号: | CN101577218A | 公开(公告)日: | 2009-11-11 |
发明(设计)人: | 蛯原裕;那须博;渡边胜彦;小林弘幸 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种电子元器件安装装置及电子元器件安装方法。现有电子元器件安装装置有时难以进行稳定的超声波接合。而本发明的电子元器件安装装置包括:保持电子元器件8的元器件保持部50;通过元器件保持部50对所保持的电子元器件8施加压力的按压单元;以及通过元器件保持部50对所保持的电子元器件8提供超声波振动的超声波振子52,元器件保持部50具有:一端固定超声波振子52的焊头51;及利用螺栓541及542固定于焊头51的另一端、并保持电子元器件8的保持工具53,焊头51在另一端具有面A1和面A2,保持工具53具有与面A1紧贴的面B1和与面A2紧贴的面B2。 | ||
搜索关键词: | 电子元器件 安装 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电子元器件安装装置,其特征在于,包括:保持电子元器件的元器件保持部;通过所述元器件保持部对所述被保持的电子元器件施加压力的按压单元;以及通过所述元器件保持部对所述被保持的电子元器件提供超声波振动的超声波振子,所述元器件保持部具有:一端固定所述超声波振子的焊头;以及利用止动单元固定于所述焊头的另一端并保持所述电子元器件的保持工具,所述焊头在所述另一端具有第一焊头面和第二焊头面,所述保持工具具有与所述第一焊头面紧贴的第一工具面和与所述第二焊头面紧贴的第二工具面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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