[发明专利]一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图形的方法有效
| 申请号： | 200910137846.9 | 申请日： | 2003-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101609254A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 野崎耕司;小澤美和 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦 晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图形的方法。该方法包括：形成抗蚀图形；和在抗蚀图形的表面上涂覆抗蚀图形改进材料，其中，抗蚀图形改进材料与抗蚀图形在它们之间的界面上混合，其中所述抗蚀图形改进材料包括：(a)一种水溶性或者碱溶性的成分，包含：(i)一种树脂，和(ii)一种交联剂或者非离子表面活性剂，和(b)一种水溶性芳香族化合物；其中水溶性芳香族化合物选自包含以下物质的组中：多元酚，代表性的有五倍子酸，以及它的衍生物；萘多元醇，代表性的有萘二醇，萘三醇，以及它们的衍生物；和苯甲酮衍生物，代表性的有茜素黄A，其中抗蚀图形通过照射ArF受激准分子激光或者波长短于ArF受激准分子激光的波长的激光来形成，并且其中抗蚀图形改进材料的图形包括一种基本上不透过ArF受激准分子激光的基础树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 改进 材料 以及 使用 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备图形的方法，包括：形成抗蚀图形；和在抗蚀图形的表面上涂覆抗蚀图形改进材料，其中，抗蚀图形改进材料与抗蚀图形在它们之间的界面上混合，其中所述抗蚀图形改进材料包括：(a)一种水溶性或者碱溶性的成分，包含：(i)一种树脂，和(ii)一种交联剂或者非离子表面活性剂，和(b)一种水溶性芳香族化合物；其中水溶性芳香族化合物选自包含以下物质的组中：多元酚，代表性的有五倍子酸，以及它的衍生物；萘多元醇，代表性的有萘二醇，萘三醇，以及它们的衍生物；和苯甲酮衍生物，代表性的有茜素黄A，其中抗蚀图形通过照射ArF受激准分子激光或者波长短于ArF受激准分子激光的波长的激光来形成，并且其中抗蚀图形改进材料的图形包括一种基本上不透过ArF受激准分子激光的基础树脂。
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