[发明专利]用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统

摘要

一种用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，包括：一加热腔体，用以容纳欲进行加热的冷却气体；至少一温度传感器，用以检测一工艺腔体内薄膜太阳能电池基板与所述加热腔体内冷却气体的温度；一加热元件，设置在所述加热腔体内部，用以加热所述加热腔体内部的冷却气体；一风扇单元，设置在所述加热腔体内部，用以冷却所述加热腔体内部的冷却气体；及一控制单元，可根据所述检测到的基板温度自动控制所述加热元件与所述风扇单元的输出以升降所述冷却气体的温度，使通入的所述冷却气体的温度与所述检测到的基板温度差距在整个冷却步骤期间都维持在一定值。本发明能让薄膜太阳能电池基板稳定均匀的降温，避免工艺中过快降温造成基板变质、损坏。

主权项

一种用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述冷却系统包括：一加热腔体，用以容纳欲进行加热的冷却气体；至少一温度传感器，用以检测一工艺腔体内薄膜太阳能电池基板与所述加热腔体内冷却气体的温度；一加热元件，设置在所述加热腔体内部，用以加热所述加热腔体内部的冷却气体；一风扇单元，设置在所述加热腔体内部，用以冷却所述加热腔体内部的冷却气体；及一控制单元，可根据所述检测到的基板温度自动控制所述加热元件与所述风扇单元的输出以升降所述冷却气体的温度，使通入的所述冷却气体的温度与所述检测到的基板温度差距在整个冷却步骤期间都维持在一定值。