[发明专利]靶材的制作方法有效
| 申请号： | 200910140216.7 | 申请日： | 2009-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN101591768A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04;C25D11/04;C25D11/06;C25D11/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴靖靓;李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材的制作方法，所述靶材的制作方法包括：提供金属料件；将所述金属料件挤压成型，制作成靶材；对所述靶材采用阳极氧化工艺，在表面形成氧化膜。所述方法可以提高溅射靶材的耐热性、耐腐蚀性和耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供金属料件；将所述金属料件挤压成型，制作成靶材；对所述靶材采用阳极氧化工艺，在表面形成氧化膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910140216.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：网络游戏中的交流方法、装置及系统
- 下一篇：一种会议级联的方法、系统和设备
- 同类专利
- 专利分类
