[发明专利]靶材组件的制作方法无效
| 申请号： | 200910140418.1 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101648308A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/08 | 分类号： | B23K1/08;B23K1/06;B23K1/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组件的制作方法，包括：提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；将300毫米靶材坯料与背板接触，将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料与300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周充分浸润，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；将300毫米靶材坯料与背板接触，包括：将300毫米靶材坯料结合面与背板结合面接触并且300毫米靶材坯料外周与背板侧壁内侧接触；将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。
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