[发明专利]模子、图案形成方法以及图案形成设备有效
| 申请号： | 200910140939.7 | 申请日： | 2006-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN101604124A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一;真岛正男;寺崎敦则;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范 莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子(104)，该模子(104)具有包括图案区域(1000)的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记(2070)；使模子(104)的图案区域(1000)与设在衬底(5000)上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底(5000)上的对准标记(2070)和衬底(5000)彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记(2070)和在衬底(5000)上设置的标记(5300)，来获得关于模子(104)和衬底(5000)的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底(5000)与模子(104)的高精度对准；相应的模子以及图案形成设备。 | ||
| 搜索关键词： | 模子 图案 形成 方法 以及 设备 | ||
【主权项】：
1.一种模子，包括：具有待转印图案的区域的第一表面；与所述第一表面相对定位的第二表面；设置在所述第一表面上的用于对准的第一标记；以及设置在远离所述第一表面的位置处的用于对准的第二标记。
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