[发明专利]切削装置无效
| 申请号： | 200910141286.4 | 申请日： | 2009-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101590669A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 佛朗哥·马里亚尼 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/02;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种切削装置，其在向切削刀具供给切削液的同时对晶片进行切削，其能够降低与切削液有关的成本，而不会使切削液所具有的功能降低，即不会使对切削刀具的冷却功能以及作为切削刀具与晶片之间的接触部处的润滑剂的功能降低。上述切削装置至少包括：卡盘工作台，其保持晶片；切削构件，其具有对保持在卡盘工作台上的晶片进行切削的切削刀具；以及切削液供给构件，其向切削刀具供给切削液，在该切削装置中，切削液供给构件具有将液体和气体混合并喷出雾状的切削液的混合喷嘴，从混合喷嘴对切削刀具以及切削刀具与晶片的接触部喷出雾状的切削液。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 装置 | ||
【主权项】：
1.一种切削装置，其至少包括：卡盘工作台，其保持晶片；切削构件，其具有对保持在上述卡盘工作台上的晶片进行切削的切削刀具；以及切削液供给构件，其向上述切削刀具供给切削液，上述切削装置的特征在于，上述切削液供给构件具有：混合喷嘴，其将液体和气体混合并喷出雾状的切削液；液体供给口，其向上述混合喷嘴供给液体；气体供给口，其向上述混合喷嘴供给气体；液体供给源，其向上述液体供给口供给液体；以及气体供给源，其向上述气体供给口供给气体。
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