[发明专利]注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材无效
申请号: | 200910143355.5 | 申请日: | 2009-05-22 |
公开(公告)号: | CN101890752A | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 罗济锦;周建纲 | 申请(专利权)人: | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
主分类号: | B28B1/26 | 分类号: | B28B1/26;C23C14/35;C23C14/08;C04B35/622;C04B35/64;C04B35/01;C04B35/457 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 葛强;张一军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是一种注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材,所述注浆成型用的模具包括底部、侧壁以及由该底部和侧壁所围成的一容纳空间,其中仅有该底部的材料为吸水性多孔质的材料,而该侧壁无法吸水。由于本发明仅有底部是以吸水材质所组成,因此利用由单一方向吸收水份的方式,一次完成注浆动作,不必陆续添加浆料,如此可以提升粉末堆积的均匀性以及生胚的致密性,使烧结体不易碎裂变形,并更能应用于制作大尺寸的板状靶材。 | ||
搜索关键词: | 成型 模具 使用方法 制成 ito 靶材 | ||
【主权项】:
一种注浆成型用的模具,其特征在于:包括底部、侧壁以及由该底部和侧壁所围成的一容纳空间,其中仅有所述底部的材料为吸水性多孔质的材料,而该侧壁无法吸水。
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