[发明专利]基板端面研磨装置及研磨判定方法有效
| 申请号： | 200910149143.8 | 申请日： | 2009-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN101607376A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 辰田胜彦;山岸宗司;猪饲修;松冈豊;伊势广教 | 申请（专利权）人： | 中村留精密工业株式会社;AvanStrate株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/16 | 分类号： | B24B7/16;B24B7/24;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程 伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种将研磨轮的磨损槽深度引入修正要素的、可靠性高并适应控制的基板端面研磨装置，以及基板端面的研磨是否良好的判定方法。基板端面研磨装置的特征在于包括：对基板端面进行研磨加工的研磨轮、该研磨轮的旋转驱动组件、以及所述研磨轮的切入送出组件；研磨轮的旋转驱动组件具有：利用基板端面接触的负载电流检测组件、以及通过在研磨轮产生的磨损槽的槽侧面接触于基板而产生的负载电流的修正组件。 | ||
| 搜索关键词： | 端面 研磨 装置 判定 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基板端面研磨装置，其特征在于包括：对基板端面进行研磨加工的研磨轮、所述研磨轮的旋转驱动组件、以及所述研磨轮的切入送出组件；所述研磨轮的旋转驱动组件具有：利用基板端面接触的负载电流检测组件、以及通过在所述研磨轮产生的磨损槽的槽侧面接触于基板而产生的负载电流的修正组件。
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