[发明专利]缺陷检测方法及装置

摘要

本发明涉及缺陷检测方法及装置。使膜在配置于十字尼科耳的第一偏振片和第二偏振片之间走行。卤素灯经由第一偏振片对膜照射光。卤素灯发出的光中仅存在一条辉线。由于膜上的缺陷等使辉度发生变化的光经由第二偏振片和除去光学系统入射至光接收器。对光接收器的输出信号进行微分处理。根据被实施微分处理的微分处理信号检测出极大信号和极小信号。求得预先设定的基准信号的辉度值与所述极大信号的辉度值的差作为第一差分值，并且求得基准信号的辉度值与极小信号的辉度值的差作为第二差分值。当将第一差分值和第二差分值相加求得的相加值为一定值以上时，则确定极大信号和极小信号为缺陷信号。

主权项

1.一种缺陷检测装置，其在以十字尼科耳方式配置的第一偏振片和第二偏振片之间配置膜的状态下，对所述膜上的缺陷进行检测，具有：光照射部，其将不具有辉线或者仅具有一条辉线的光经由所述第一偏振片照射到所述膜上；光接收部，其经由所述第二偏振片接收来自所述膜的光；以及缺陷检测部，其根据来自所述光接收器的输出信号检测所述膜的缺陷。